Special Lamp
Machines & Processing
一、 设备功能
采用超短脉冲(皮秒)激光,可对各种材料的精密钻孔、切割以及划槽等微加工;具有精度高、热影响区域极小、加工
边缘 无毛刺和残渣等优点。目前已在金属、半导体、陶瓷以及多种高分子材料上进行了成功应用,是发动机喷嘴加工飞
机涡轮叶片和缸套表面处理以及其它表面微摩擦工程研究的理想工具。
1) 可对薄膜材料进行精密去除。对薄膜太阳能电池进行激光划片时,热影响区小,无接触式加工,避免了加工产生的机械应力及热应力,可以有效提高硅片的优等品率,同时改善了电池片划线质量。
2) 可用于金属、塑胶、陶瓷等薄板切割。例如应用于电子工业应用中厚度为0.1mm的不锈钢板切割,热影响小,无熔渣且精度高。
3) 可用于金属材料表面精密刻槽构筑功能性微结构。近年来,基于仿生科学而进行的材料表面功能微结构研究正广泛开展。例如仿生荷叶表面的超疏水结构,可通过皮秒激光对金属材料表面进行精密加工,而使金属表面产生对水滴的强相斥及自清洁效应,对医学、能源、国防等领域的发展都有重要的意义。
二.指标
产品名称: DeepPioneer
波 长: 1064nm
脉冲宽度:10- 300ps
平均功率:3W、 10W、20W
最小加工线宽: 3μm
最大加工径深比: 1:20
最小加工孔径: 50 μm
三. 设备优点:
加工精度高,长期稳定性好;
加工线宽窄,品质高,热影响区域小;
可加工圆、椭圆、多边形等各种极不规则图形和异形图案;
最小孔径可达30微米,最大径深比可达1:20。
应用范围:
主要应用于精细微加工,尤其是高品质钻孔、切割以及划槽处理,目前已在金属、半导体、陶瓷、玻璃以及多种高分子材料上进行了成功应用。